|
|
|
|
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Сигов А.С.
Код: 04750963
Страниц: 270
Переплет: твердый
Размер: 14.5 x 21.5 x 1.8 см
Вес: 306 г.
ISBN: 978-5-9916-7153-8
Наличие: распродано
|
Описание:
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
|
|
|
|
|
