|
|
|
|
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Родионов Юрий Анатольевич
Код: 34837685
Страниц: 220
Переплет: твердый Год издания: 2021 Размер: 17.2 x 24.2 x 1.5 см
Вес: 406 г.
ISBN: 978-5-8114-5788-5
Наличие: распродано
|
Описание:
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
|
|
|
|
|
